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ASML研發(fā)下一代EUV光刻機：分辨率提升70% 逼近1nm極限

發(fā)布：cyqdesign 2020-03-16 22:11 閱讀：10004

在EUV光刻機方面，荷蘭ASML（阿斯麥）公司壟斷了目前的EUV光刻機，去年出貨26臺，創(chuàng)造了新紀錄。據(jù)報道，ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機，預計在2022年開始出貨。根據(jù)ASML之前的報告，去年他們出貨了26臺EUV光刻機，預計2020年交付35臺EUV光刻機，2021年則會達到45臺到50臺的交付量，是2019年的兩倍左右。

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