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    [原創(chuàng)]使用SFIT命令對(duì)非球面數(shù)據(jù)擬合 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-04-01
    SFIT Surface fit to data
    當(dāng)您想要表面的面型與(X,Y,Z)坐標(biāo)(如:由數(shù)字化干涉圖產(chǎn)生的)相匹配時(shí),SYNOPSYS可以計(jì)算曲面建模所需的系數(shù)。在程序中獲得的大部分表面面型都能夠匹配。(如果面型時(shí)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的,您也可以用CSAG,輸入更簡(jiǎn)單)。
    輸入是:
    1c<CEq:?e%  
    v GR \GFm  
    必須在第二行輸入所需的面型以及表面編號(hào)。在這個(gè)輸入中,面型是下面的其中之一:
    O?j98H Sya  
    .gM>FUH3L  
    這里給出22項(xiàng)冪級(jí)數(shù)多項(xiàng)式(R是軸向曲率半徑):
    jM3Y|}+  
    s% L" c  
    xu%! b0  
    hSx+ {4PZ  
    F653[[eQ  
    Zernike多項(xiàng)式: <iXS0k  
    g9([3pV,  
    e~t}z_>F  
    }QWTPRn  
    L!8 -:)0b  
    qSpa4W[  
    如果包含[L],則假定DZ變形輸入與鏡頭單位相同。如果在單詞2中存在任何其他條目或空白,則假定DZ信息處于主波長(zhǎng)的波形中。可選輸入D是一個(gè)阻尼因子,可用于防止在變形輸入低于多項(xiàng)式約束時(shí)出現(xiàn)奇異性,該阻尼因子通過(guò)最小二乘法求解。但是最好輸入足夠大的變形數(shù)組來(lái)過(guò)度約束解。
    6uCk0 B|  
    SN是數(shù)據(jù)將被分配到的表面編號(hào)。可選輸入APS是參考孔徑,可被Zernike系數(shù)使用,其在該孔徑上是正交的(默認(rèn)是單位圓),也可被USS面型使用;APD是全孔徑干涉圖上的尺寸。
    如果APS不等于APD,則(X,Y)干涉圖坐標(biāo)將自動(dòng)縮放,以使APD處的位置變得等于APS。
    如果在DEF之前打開switch 13,則還會(huì)生成輸入文件列表和使用系數(shù)計(jì)算的變形表,該列表可以與原始輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行比較,以檢查曲線擬合的精度
    MuFU?3ovG*  
    請(qǐng)注意,任何曲線擬合程序必須處理兩個(gè)相互矛盾的要求:您想要擬合盡可能準(zhǔn)確,同時(shí)您總是給出不準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。物理測(cè)量,或數(shù)字化干涉圖的結(jié)果,只有有限的精度。由于這些沖突,準(zhǔn)確復(fù)制所有輸入數(shù)據(jù)點(diǎn)的曲線可能會(huì)顯示明顯的振蕩。也就是說(shuō),這些數(shù)據(jù)點(diǎn)之間的曲線可能是劇烈振蕩的,而這些點(diǎn)本身非常準(zhǔn)確。
    ~*' 8=D?)  
    處理這種沖突通常由兩種辦法。第一種是給出輸入設(shè)置的阻尼因子。該參數(shù)的作用是根據(jù)系數(shù)的大小來(lái)控制擬合:較大的阻尼產(chǎn)生較低的系數(shù)和較平滑的曲線。擬合點(diǎn)在輸入點(diǎn)處可能不那么準(zhǔn)確,但這些點(diǎn)之間的振蕩較少,結(jié)果可能比輸入數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確。第二種方法,適用于Zernike擬合,即給出比實(shí)際CAO稍大的單位孔徑尺寸。這使得程序使用多項(xiàng)式擬合數(shù)據(jù),其中所有空間波長(zhǎng)與較小的實(shí)際孔徑相比較大。結(jié)果再次減小響應(yīng)。您將不得不嘗試這些方法,檢查RSS擬合誤差和擬合平滑度,如PUPIL或SPROFILE功能顯示。
    請(qǐng)注意,以前的版本中使用命令DEF,ZERNIKE和ZE4.這些格式仍然可用,但建議您使用新格式。
    9U