SFIT Surface fit to data
當(dāng)您想要表面的面型與（X，Y，Ｚ）坐標(biāo)（如：由數(shù)字化干涉圖產(chǎn)生的）相匹配時(shí)，SYNOPSYS可以計(jì)算曲面建模所需的系數(shù)。在程序中獲得的大部分表面面型都能夠匹配。（如果面型時(shí)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的，您也可以用CSAG，輸入更簡(jiǎn)單）。
輸入是：
xN{"%>Mx 2yEO=SN,(
必須在第二行輸入所需的面型以及表面編號(hào)。在這個(gè)輸入中，面型是下面的其中之一：
zA kc 67:
Gh)sw72
這里給出22項(xiàng)冪級(jí)數(shù)多項(xiàng)式（R是軸向曲率半徑）：
EMVoTW)z " 2#-xOCO oUKBb&&O K#JabT Zernike多項(xiàng)式：
g "K #& 
^.Ih,@N6 
6 h0 U = ,>TpE zDvP7hl 7 BnenHD 如果包含[L]，則假定DZ變形輸入與鏡頭單位相同。如果在單詞２中存在任何其他條目或空白，則假定DZ信息處于主波長(zhǎng)的波形中。可選輸入D是一個(gè)阻尼因子，可用于防止在變形輸入低于多項(xiàng)式約束時(shí)出現(xiàn)奇異性，該阻尼因子通過(guò)最小二乘法求解。但是最好輸入足夠大的變形數(shù)組來(lái)過(guò)度約束解。
[6&CloY3 SN是數(shù)據(jù)將被分配到的表面編號(hào)。可選輸入APS是參考孔徑，可被Zernike系數(shù)使用，其在該孔徑上是正交的（默認(rèn)是單位圓），也可被USS面型使用；APD是全孔徑干涉圖上的尺寸。
如果APS不等于APD，則（X，Y）干涉圖坐標(biāo)將自動(dòng)縮放，以使APD處的位置變得等于APS。
如果在DEF之前打開(kāi)switch 13，則還會(huì)生成輸入文件列表和使用系數(shù)計(jì)算的變形表，該列表可以與原始輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以檢查曲線(xiàn)擬合的精度。
8XS {6< 請(qǐng)注意，任何曲線(xiàn)擬合程序必須處理兩個(gè)相互矛盾的要求：您想要擬合盡可能準(zhǔn)確，同時(shí)您總是給出不準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。物理測(cè)量，或數(shù)字化干涉圖的結(jié)果，只有有限的精度。由于這些沖突，準(zhǔn)確復(fù)制所有輸入數(shù)據(jù)點(diǎn)的曲線(xiàn)可能會(huì)顯示明顯的振蕩。也就是說(shuō)，這些數(shù)據(jù)點(diǎn)之間的曲線(xiàn)可能是劇烈振蕩的，而這些點(diǎn)本身非常準(zhǔn)確。
