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對測量的SAG數(shù)據(jù)進行非球面項擬合(CSAG)
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發(fā)表于: 2020-04-03
SYNOPSYS可以將一組測量的表面sag值擬合到
非球面
上。這可以用來
模擬
被測表面,以便分析所建立的
透鏡
的性能。假定面型是旋轉對稱的,
程序
將面型USS 21分配給表面。(也可以使用SFIT為非對稱形狀建模。)
<MT_zET
輸入是:
Pa0tf:
圖片:CSAG輸入.png
d/Zt}{
Rp}6}4=d
透鏡必須是當前的,并且要建模的表面指定為sn。要擬合的區(qū)域數(shù)必須介于3到50之間。
KM< M^l_Q
輸入是包括
孔徑
(y)和每個點的測量凹陷(sag)的列表。必須對測量值進行歸一化,使軸點具有零凹陷,但鍵入的輸入數(shù)據(jù)以第一個非零Y坐標開始。
2}~1poyi>
當讀取所有數(shù)據(jù)時,程序提交一個
優(yōu)化
運行,該過程將每個指定區(qū)域的sag目標定為測量值,隨著要建模的點的變化,許多G項變量也發(fā)生變化,最多30個區(qū)域可用于此形狀。
\Qu~iB(Y
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