摘要：復(fù)合薄膜因其可具有比單組份薄膜更加優(yōu)異的性能而得到廣泛的應(yīng)用。通過(guò)以膜層的 防護(hù)、催化、電學(xué)、光學(xué)以及力學(xué)性能等復(fù)合思想為切入點(diǎn)，闡述了通過(guò)膜層的復(fù)合摻雜旨在增強(qiáng) 合金的抗腐蝕性，提高潤(rùn)滑摩擦性能，改善膜層的導(dǎo)電性能以及進(jìn)行光學(xué)薄膜折射率和光譜吸收 的調(diào)控，增強(qiáng)膜層的硬度及拉伸強(qiáng)度等機(jī)械性能的方法。對(duì)國(guó)內(nèi)外的相關(guān)前沿成果進(jìn)行簡(jiǎn)要介 紹，并對(duì)復(fù)合薄膜的未來(lái)發(fā)展進(jìn)行展望，為相關(guān)領(lǐng)域的研究提供參考。
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關(guān)鍵詞：復(fù)合薄膜；防護(hù)性能；電學(xué)性能；催化性能；光學(xué)性能；機(jī)械性能
