SYNOPSYS中
光柵表面輸入格式:
DUY#RJf SN GRATING {X/Y} L/MM ORDER CWAV HIN VNUM XPb7gd"%W 其中,X-衍射發(fā)生在X-Z平面;Y-衍射發(fā)生在Y-Z平面。L/MM-給出了光柵刻線數(shù);ORDER-衍射級(jí)次;CWAV-波長;HIN-基底
折射率;
KXYq|w VNUM-相應(yīng)的阿貝數(shù);
#|2w^Kn Le#bitp 例子:
`/0X].s#o RLE
.wYx_ ID GRATING_REAL FLAT
llQDZ}T WAVL .6000000 .5000000 .4000000
YdIV_&-W APS 1
5Sk87o1E(d POLARIZATION LINEAR Y
b Kv9F@ UNITS MM
@;Yb6&I; OBB 0.000000 10.00000 1.00000 0.00000 0.00000 0.00000 1.00000
2I6
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