摘要：為滿足嚴(yán)格的套刻需求，雙遠(yuǎn)心結(jié)構(gòu)的投影光刻物鏡需要選擇恰當(dāng)?shù)脑苿?dòng)來進(jìn)行倍率的補(bǔ)償和調(diào)節(jié)。 提出了一種簡(jiǎn)單而實(shí)用的方法來進(jìn)行倍率的公差分析。該方法利用商業(yè)優(yōu)化設(shè)計(jì)軟件和有限差分算法計(jì)算了多 項(xiàng)公差對(duì)物鏡倍率的敏感程度，同時(shí)結(jié)合公差對(duì)系統(tǒng)波像差的敏感度選擇最佳的倍率補(bǔ)償元件。利用以上方法， 對(duì)一臺(tái)雙遠(yuǎn)心、工作波長(zhǎng)193nm以及數(shù)值孔徑0.75的投影光刻物鏡進(jìn)行了倍率的公差分析和補(bǔ)償器優(yōu)選。結(jié)果 顯示，系統(tǒng)較好地實(shí)現(xiàn)了±50x10-6的倍率調(diào)節(jié)功能，而系統(tǒng)波像差劣化程度均方根值小于1.5nm。 (.#nl}fA
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關(guān)鍵詞：光學(xué)設(shè)計(jì)；倍率；公差分析；投影光刻物鏡
