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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-04-21

最近剛接觸ZYGO平面干涉儀,不太能理解其中的概念
1. 如面型是PV值那么光圈本數(shù)是不是等于 PV值數(shù)值XXnm除以波長632.8nm*2倍,即等于光圈本數(shù)
2.局部光圈又該怎么計算.
3.平片的平行度該如何測試.
誰能幫我解開迷惑....

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離線邢巖

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2020-04-27

PV還有RMS之間可以有對比公式，但是PV與光圈，RMS與局部光圈沒有特定的對比公式。我們經(jīng)常說的一個波長兩個圈是指的樣板與鏡片之間的光程差

樓主留言：

那用ZYGO 怎么測量光圈本數(shù)呢現(xiàn)在有些圖紙都是標注多少分之1波長的面型那這個數(shù)值是不是ZYGO里面的PV值數(shù)據(jù)呢.?還請賜教

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cyqdesign

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2020-04-27

離線cj6333

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2020-06-13

樓主，這涉及到光學干涉中的等厚干涉問題。
1，面形PV，全稱是Peak-Vally，也就是峰谷值，指的是一個表面上最高點和最低點之間的差。PV=0.25波長，也就是0.25*632.8=158nm，面形波長和光圈的關(guān)系是，1個波長=2個光圈。
2，局部光圈，看光圈的彎曲程度與條紋間距的關(guān)系。
3，平片的平行度，類似于楔形片。以干涉儀標準鏡為參考面，測量楔角大小。

離線獨孤一生

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2020-06-29

回 cj6333 的帖子

cj6333:樓主，這涉及到光學干涉中的等厚干涉問題。 EB\z:n5
1，面形PV，全稱是Peak-Vally，也就是峰谷值，指的是一個表面上最高點和最低點之間的差。PV=0.25波長，也就是0.25*632.8=158nm，面形波長和光圈的關(guān)系是，1個波長=2個光圈。 Ke,-8e#Q
2，局部光圈，看光圈的彎曲程度與條紋間距的關(guān)系。 6W#+U<
3，平片的 .. (2020-06-13 21:11) nP0}vX)<

您的意思是當干涉儀測到PV值是158nm時,這是代表PV值是1/4 lamuda是吧.但他不是1/4波長.0.5個光圈嗎.ZOYA干涉儀.能通過干涉條紋圖形讀出光圈數(shù)嘛.就類似于樣板檢光圈識別法.還是說ZOYA干涉儀只能能過干涉條紋識別局部光圈.即通過條紋的平滑度來對比.望指點

離線cj6333