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    [求助]鍍膜材料校準(zhǔn)因子如何算? [復(fù)制鏈接]

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    離線gmss1111
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-04-27
    小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè),請教下如何計算鍍膜材料的tooling,比如說校準(zhǔn)sio材料,在鍺基片上鍍膜,鍍了350nm,膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個峰,到底選哪個,怎么計算啊。 m]E o(P4+  
     
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    離線morningtech
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-04-27
    為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個參數(shù),用光控時老師把它叫作比例系數(shù), ?< -wHj)  
    晶控上寫作Tooling Factor,有人簡稱它tooling,有人直譯為工具因子,膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時不知所云,雖慢慢耳熟,仍要改)。 5R$=^gE  
    理想情況下,有了正確的tooling值,晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計厚度了。 -Mit$mFn  
    k*A4;Bm  
    定義上,晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實(shí)測膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% ")fOup@ ^a  
    假定工藝不變情況下,第一次鍍膜時的Tooling值T1不夠準(zhǔn)確,樣品實(shí)測厚度與設(shè)計厚度有偏差,需要修正。 bWhJ^L D  
    修正值  T2 = T1 * 樣品實(shí)測厚度/設(shè)計厚度 +#&el//  
    ke{DFq h  
    :-W$PIBe  
    先思考一下,把你問題中的參數(shù)看怎么對應(yīng)到上面式子里。
    2條評分光幣+12
    光跡 光幣 +2 精彩回帖,獎勵! 2020-06-27
    cyqdesign 光幣 +10 熱心助人,鼓勵! 2020-04-27
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-04-27
    +1------
    離線17873333033
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-04-27
    2樓講解的很詳細(xì),謝謝大師,我這里有高純度SIO2便宜處理,由于今年訂單減少,大量高優(yōu)質(zhì)材料虧本出售。請給實(shí)體行業(yè)一點(diǎn)支撐。17873333033
    離線ouyuu
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-04-30
    自己用TFC擬合吧,先把sio2膜厚設(shè)定到350nm,然后慢慢減少,到和你實(shí)際的圖像重合。 uWM4O@Qn)d  
    如果一個峰重合一個峰不重合,那就一點(diǎn)點(diǎn)的修折射率,(sio2折射率很穩(wěn)定,一般不用修) 7~Xu71^3s  
    這是最直觀的笨辦法。 q[We][Nrzb  
    一般如果水晶放在最中央的話,水晶片上的膜厚會大于基片上的膜厚(一個是位置,另外一個有修正板擋住部分膜料)。所以基片上的膜厚只會小于350nm,不會大于350nm。
    離線xitang007
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2020-05-20
    很好!
    離線wflney
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2020-05-20
    謝謝分享!!
    離線sosjinyan
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-05-21
    水晶片上的厚度,有的時候  會小于鏡片上的厚度。 按實(shí)際測量的走就行了。
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2020-06-23
    謝謝分享
    離線tony肖
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2021-06-24
    謝謝分享。。
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