摘要 G{fPQ=  
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可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 #;a+)~3*O  
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圖片:1-20042G00011263.png

rtz-kQ38R  
傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）  VQH48{X  
^g6v#]&WA  
建模任務(wù) z3i`O La  
Lm=EN%*#9  

圖片:1-20042G00040528.png

!9 kNL  
51|s2+GG  
單次FMM仿真結(jié)果 7QTS@o-  
,= ApnNUgX  

圖片:1-20042G00314295.png

E*5aLT5!,  
8Pa*d/5Y(  
參數(shù)掃描（1D） ^2$b8]q  
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圖片:1-20042G00241125.png

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J[6/dM  
參數(shù)掃描（2D） 
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圖片:1-20042G0042K26.png

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文件信息 YX,;z/Jw2  
u;nn:K1QFr  

圖片:1-20042G0045O57.png

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拓展閱讀 xI?'Nh  

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-Grating Order Analyzer \[{8E}_"^  
-Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction