光行天下>光學檢測、光學測量與光機裝調(diào)>簡述光刻機投影物鏡的幾種減振方案

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離線gangzi0801

技術(shù)專家

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-05-02

關鍵詞：光刻機投影物鏡

摘要：振動是影響光刻機投影物鏡動態(tài)穩(wěn)定性的關鍵因素，決定了投影光刻機的主要性能。簡述了消除或抑制投影物鏡振動的兩種方案，即一體式主動減振方案和采用壓電陶瓷驅(qū)動的柔性支撐兩級主動減振方案。通過在實際中應用表明，后一種減振方案可以實現(xiàn)亞微米甚至納米級的定位精度及穩(wěn)定性。

關鍵詞：光刻機；投影物鏡；壓電陶瓷；主動減振

附件:

簡述光刻機投影物鏡的幾種減振方案.rar (681 K) 下載次數(shù):27 ，售價:2光幣[記錄]

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mang2004	光幣 +6	-	2020-05-06
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離線wmh1985

高級工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2020-05-22

機械減震嗎

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離線王教主

實習生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2023-03-14

機械減震嗎

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離線fangyongyong

實習生

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2024-01-10

好東西

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離線raja

技術(shù)員

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 07-15

減震方面的資料還是比較少

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