光行天下>光學(xué)設(shè)計(jì)及經(jīng)驗(yàn)>光刻機(jī)投影物鏡結(jié)構(gòu)型式比較

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離線我是菜鳥(niǎo)

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-05-02

關(guān)鍵詞：光刻機(jī)投影物鏡

摘要：本文分析了光刻機(jī)中采用的幾種投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式，比較了各自的優(yōu)缺點(diǎn)，指出目前光刻機(jī)中采用全折射投影物鏡作為主流結(jié)構(gòu)型式的原因。

關(guān)鍵詞：光刻機(jī)；投影物鏡；全折射型；折反射型

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光刻機(jī)投影物鏡結(jié)構(gòu)型式比較.rar (290 K) 下載次數(shù):100 ，售價(jià):2光幣[記錄](méi)

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離線raja

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離線xy1916794409

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在線jabil

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只看該作者 17樓發(fā)表于: 2021-03-16

先下載下來(lái)，等我把手頭工作做完再看看

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FENXIDUDAO

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離線木子笑月

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只看該作者 15樓發(fā)表于: 2020-12-26

幾年來(lái)的熱點(diǎn) 學(xué)習(xí)一下

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離線rmsh

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只看該作者 14樓發(fā)表于: 2020-05-25

光刻機(jī)是芯片行業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備

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離線opt-nicky

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只看該作者 13樓發(fā)表于: 2020-05-24

看看里面是啥？

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