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    [分享]VirtualLab：高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-05-09
    1. 摘要   #_\~Vrf(#  
    W RaO.3Q@.  
    高NA物鏡廣泛用于光刻，顯微等技術。因此，聚焦仿真中考慮光的矢量性質至關重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡，可以清楚地觀察由于矢量效應引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠對聚焦區(qū)域進行靈活全面的研究，進而加深對矢量效應的理解。 1`\kXaG  
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