摘要：Nanosys-300非球面曲面超精密復(fù)合加工系統(tǒng)是“九五”重點預(yù)研課題 —“非球面曲面的超精密加工與測量技術(shù)”的主要研究成果。重點對非球面曲面光學(xué)零件超精密加工機(jī)床，非球面曲面光學(xué)零件超精密加工工藝，非球面曲面光學(xué)零件超精密測量技術(shù)進(jìn)行了研究。其主要技術(shù)成果有：非球面超精密復(fù)合加工系統(tǒng)綜合設(shè)計和制造技術(shù)，高速超精密空氣靜壓主軸系統(tǒng)，超精密閉式液體靜壓導(dǎo)軌系統(tǒng)，高速超精密空氣靜壓磨頭電主軸系統(tǒng)，開放式高性能數(shù)控系統(tǒng)集成技術(shù)等。系統(tǒng)的精度檢測和工藝實驗表明其研究水平進(jìn)入了國際先進(jìn)行列。 $'!r/jV
Q.: SIBP
關(guān)鍵詞：非球面；超精密；加工；測量
