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[轉(zhuǎn)載]使用傅里葉模態(tài)法分析閃耀光柵 [復(fù)制鏈接]

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離線(xiàn)飛躍小河

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-05-15

摘要

可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。

傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱(chēng)為RCWA）

建模任務(wù) F~mIV;BP
"+F'WCJ-(*

單次FMM仿真結(jié)果 x;n3 Zr;(


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