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1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。 [7@ blU 2.測(cè)量樣本。 5sY $ 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測(cè)量結(jié)果。 -gs
I:-Xo 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測(cè)量結(jié)果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面）。 /!Rva" wC{sP"D 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 ;d zy 5o3
[piK"N 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，對(duì)于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測(cè)量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測(cè)量表面粗糙程度。它具有非接觸式測(cè)量，快速測(cè)量的特點(diǎn)。并且它的體積小便于移動(dòng)。被測(cè)樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 e4YfJd J*zzjtY( 1 特征及技術(shù)參數(shù) j
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6{+yAsI - 可測(cè)量參數(shù)：粗糙度相關(guān)一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測(cè)是否各項(xiàng)同性等。 85E$m'0O - 靈敏度R_q<0.5 nm :qo[@
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