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    [轉(zhuǎn)載]高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-06-09
    1. 摘要 A>W8^|l6+-  
       U<mFwJ C]  
    高NA物鏡廣泛用于光刻，顯微等技術(shù)。因此，聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對(duì)此類鏡頭進(jìn)行光線追跡和場(chǎng)追跡分析。通過場(chǎng)追跡，可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對(duì)稱現(xiàn)象。利用相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器能夠?qū)劢箙^(qū)域進(jìn)行靈活全面的研究，進(jìn)而加深對(duì)矢量效應(yīng)的理解。 mA>u6Rlc  
    6$*ZH *  
    l<=Y.P_2  
     \t\ZyPxn  
    2. 建模任務(wù) 0'4V*Y  
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     QAmb_:^"d  
       !L_\6;aP,x  
    3. 概述 b(|1DE0Cv  
    ZF6?N?t}h8  
    .YcI .  
     示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 WaYT7 :  
     下一步，我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 Erd)P  
    S,~DA3  
     [<p7'n3x  
    Pf?y!d K<  
    4. 光線追跡仿真 vTY+J$N__  
    sX$EdIq  
    c>nXnN  
     首先，選擇“Ray Tracing System Analyzer”作為仿真引擎。 R#UcwX}o  
     點(diǎn)擊“Go!”。 ({_Dg43O'[  
     隨即獲得3D光線追跡結(jié)果 }D>nXhO&  
    z}:|is)?  
    J}UG{RttI  
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     然后，選擇“Ray Tracing”作為仿真引擎。 V"{+cPBO)  
     點(diǎn)擊“Go!”。 o:irwfArv  
     隨即獲得點(diǎn)列圖(2D光線追跡結(jié)果)。 _mJnhT3  
    5??\[C^"}  
     7$&3(#!N  
    5. 場(chǎng)追跡仿真 O>j_x 田林县| 灵丘县| 牡丹江市| 东光县| 阜城县| 九龙城区| 当阳市| 新乡县| 买车| 贺兰县| 平泉县| 滕州市| 萍乡市| 蓬溪县| 西畴县| 明光市| 稷山县| 进贤县| 娄底市| 监利县| 华坪县| 台州市| 霍邱县| 娄烦县| 亚东县| 桃园县| 健康| 张北县| 隆回县| 和硕县| 九龙城区| 德清县| 鄂温| 昭平县| 沧源| 大新县| 雅江县| 宝兴县| 霍州市| 新建县| 丁青县|