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發(fā)表于: 2020-07-02
摘要
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干涉
測量法是一項(xiàng)用于
光學(xué)
測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、
機(jī)械
和熱變形的高
精度
測量。作為一個典型示例,在非
序列
場追跡技術(shù)的幫助下,于
VirtualLab
Fusion中建立了具有相干
激光
源的馬赫-澤德
干涉儀
。該例證明了
光學(xué)元件
的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。
Sc14F Fs
q"0_Px9P
建模任務(wù)
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+OaBA>Jh9
Ve\.7s
由于組件傾斜引起的干涉條紋
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