蒸發(fā)鍍膜都有哪些膜料要預(yù)融或者充氧鍍的，大神說一下！

五氧化三鈦怎么鍍的

一般氧化物都充一點(diǎn)，包括sio2，不過會(huì)失氧多一些的ti3o5等充氧量大一些

小學(xué)僧:五氧化三鈦怎么鍍的 (2020-07-05 22:50)  hD l+  

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需要充氧

氧化物最好都充氧。

充60-70sccm

鍍膜并不是以分子形式，而是以單獨(dú)原子的方式蒸發(fā)的。
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不同原子的質(zhì)量不同，蒸發(fā)速度和運(yùn)動(dòng)角度也不一樣。 94|BSxc  
所以在蒸發(fā)早期或者末期，還有大角度區(qū)域，可能會(huì)發(fā)生氧不足的情況。 tp*AA@~  
（氧多余會(huì)變成氣體蒸發(fā)掉，所以不存在氧多余的情況） h+ELtf  
這時(shí)候適當(dāng)補(bǔ)充氧氣，可以補(bǔ)足缺失的氧，使得薄膜性質(zhì)穩(wěn)定。

氧化物建議充氧

謝謝學(xué)習(xí)下 o& $Fc8bH  
謝謝

用PVD，通氧氣和氬氣鍍膜 -~v;'zOO