昨天在群里看到有同行發(fā)了一個(gè)問題，650的短波通濾光片，鍍膜后發(fā)現(xiàn)有發(fā)霧；工藝條件：加溫110℃，TIO2/SIO2搭配；可能信息有點(diǎn)少，有沒有哪位同行之前遇到過這種問題的，望分享一下經(jīng)驗(yàn)。

溫度，真空度，離子源能量相關(guān)。 7 0Wy]8<P  
離子源能量越高越好，真空度越高越好，溫度要慢慢試

和溫度有很大關(guān)系

充氧量

有沒有用離子源？發(fā)霧主要是氧化鈦的工藝問題，吸收大了導(dǎo)致發(fā)霧。速率、充氧、離子源功率（用離子源情況下）

tony肖:和溫度有很大關(guān)系 (2021-06-23 20:51)  fX}dQN~z  

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溫度多少合適

請(qǐng)問解決了嗎