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    [分享]用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計(jì) [復(fù)制鏈接]

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    離線991518
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-08-24
    摘要：均勻照明是投影光刻機(jī)中實(shí)現(xiàn)光刻線條高度均一性的重要條件。采用微透鏡陣列作為照明勻光器件，能夠 在實(shí)現(xiàn)矩形照明光斑的同時(shí)獲得極高的遠(yuǎn)場(chǎng)分布均勻性。基于微透鏡陣列現(xiàn)有的加工工藝，設(shè)計(jì)出二維方向分開(kāi) 的柱面微透鏡陣列，并通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)，克服了微透鏡之間的接縫在遠(yuǎn)場(chǎng)光場(chǎng)處產(chǎn)生的中心亮線。仿真分析表明，所 設(shè)計(jì)的微透鏡陣列的遠(yuǎn)場(chǎng)分布不均勻性達(dá)到0.85％。  4_E{  
    w34&m  
    關(guān)鍵詞：幾何光學(xué)；微柱面鏡陣列；光學(xué)設(shè)計(jì)；照明均勻性
    附件: 用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計(jì).rar (1733 K) 下載次數(shù):130 ，售價(jià):2光幣[記錄](méi)
    共2條評(píng)分 ，光幣+10
    mang2004 光幣 +5 - 2020-08-25
    cyqdesign 光幣 +5 - 2020-08-24
     
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    離線optifdtd
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-08-25
    學(xué)習(xí)了解。。。。。。
    離線ruanpeiz
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-08-27
    好東西  學(xué)習(xí)一下
    離線ruanpeiz
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-08-27
    感謝 感謝
    離線jiatong
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-08-29
    感謝！ {=W TAgP  
    離線wuyy1227
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2020-08-31
    學(xué)習(xí)了！
    離線lzj421223
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2020-09-02
    學(xué)習(xí)了！！！謝謝
    離線hale1987
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-09-08
    感謝！
    離線寒夜
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2020-09-09
    謝謝分享。
    離線居安思危
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2020-09-10
    感謝，好東西，學(xué)習(xí)一下
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