為了進一步提高激光光束用作直線基準的精度，建立了基于反射鏡平動式光束穩(wěn)定器以及兩點式光束漂移分離法的高精度激光光束準直系統(tǒng)。首先，對系統(tǒng)中基于反射鏡平動的光束穩(wěn)定器進行研究，對其光束偏轉原理以及影響因素進行分析，并對兩點式光束漂移分離方法進行介紹。然后，對光束偏轉單元的分辨力以及偏轉范圍、所使用的壓電陶瓷非線性和遲滯特性、以及光束偏轉單元的頻率響應特性進行實驗測試。最后，對該激光準直系統(tǒng)的激光光束準直精度進行測試。實驗結果表明：本文提出的光束偏轉單元在120 μrad范圍內的光束偏轉分辨力可以達到5 nrad，頻率響應特性高于2 kHz；最終激光準直系統(tǒng)的準直精度在二維方向上分別達到1.9×10-8 rad和2.1×10-8 rad, 相對于現(xiàn)有技術約提高了3倍，滿足激光光束用作高精度直線基準的需求。
