為了進(jìn)一步提高激光光束用作直線基準(zhǔn)的精度，建立了基于反射鏡平動式光束穩(wěn)定器以及兩點(diǎn)式光束漂移分離法的高精度激光光束準(zhǔn)直系統(tǒng)。首先，對系統(tǒng)中基于反射鏡平動的光束穩(wěn)定器進(jìn)行研究，對其光束偏轉(zhuǎn)原理以及影響因素進(jìn)行分析，并對兩點(diǎn)式光束漂移分離方法進(jìn)行介紹。然后，對光束偏轉(zhuǎn)單元的分辨力以及偏轉(zhuǎn)范圍、所使用的壓電陶瓷非線性和遲滯特性、以及光束偏轉(zhuǎn)單元的頻率響應(yīng)特性進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測試。最后，對該激光準(zhǔn)直系統(tǒng)的激光光束準(zhǔn)直精度進(jìn)行測試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：本文提出的光束偏轉(zhuǎn)單元在120 μrad范圍內(nèi)的光束偏轉(zhuǎn)分辨力可以達(dá)到5 nrad，頻率響應(yīng)特性高于2 kHz；最終激光準(zhǔn)直系統(tǒng)的準(zhǔn)直精度在二維方向上分別達(dá)到1.9×10-8 rad和2.1×10-8 rad, 相對于現(xiàn)有技術(shù)約提高了3倍，滿足激光光束用作高精度直線基準(zhǔn)的需求。
