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    [分享]超高精度面形干涉檢測技術(shù)進(jìn)展 [復(fù)制鏈接]

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    離線ka2012
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-09-14
    關(guān)鍵詞： 精度面形干涉
    深紫外、極紫外光刻、先進(jìn)光源等現(xiàn)代光學(xué)工程牽引驅(qū)動超精密光學(xué)技術(shù)持續(xù)發(fā)展，超精密光學(xué)制造要求與之精度相匹配的超高精度檢測技術(shù)。作為核心技術(shù)指標(biāo)之一的面形精度通常要求達(dá)到納米、深亞納米甚至幾十皮米量級，超高精度面形干涉檢測技術(shù)挑戰(zhàn)技術(shù)極限，具有重要研究意義和應(yīng)用價值。本文分析了面形干涉檢測技術(shù)發(fā)展趨勢，主要介紹了中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所近年來在超高精度面形干涉檢測技術(shù)相關(guān)研究進(jìn)展。
    附件: 超高精度面形干涉檢測技術(shù)進(jìn)展.rar (2192 K) 下載次數(shù):32 ，售價:2光幣[記錄]
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    200833 光幣 +5 - 2020-09-14
     
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    離線200833
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-09-14
    謝謝你的分享。
    離線寶妮
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2021-11-14
    感謝分享~
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 08-04
    看看，looklook