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1. 摘要 IoKN.#;^ r7FFZNs!
亞光波長光柵在用傍軸光照射時僅產(chǎn)生一個衍射級，因此在這種情況下不會形成圖像。 為了克服此問題，可以使用非傍軸照明。在本例中，高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明，衍射場被另一個高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程，包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長光柵。 ^!A@:}t>
D;! aix3 2. ·建模任務(wù) iy-~CPNB_ C bW>yr L S%;ZKJ 3. 結(jié)果 HRg< f= oz AGGNJ4m It#T\fU 4. 文件和技術(shù)信息 y^:N^Gt pq +~| |
