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ASML公布最新一代EUV光刻機3600D：提高18%生產(chǎn)率

發(fā)布：cyqdesign 2020-10-14 20:12 閱讀：1515

10月14日，荷蘭ASML（阿斯麥）公布了光刻機產(chǎn)品的最新進展。其中TWINSCAN NXE:3600D作為其目前研發(fā)中的最先進光刻機系統(tǒng)，終于敲定最終規(guī)格。具體來說，30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進機器匹配套準(zhǔn)精度至1.1nm。

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ASML公布最新一代EUV光刻機3600D：提高18%生產(chǎn)率