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    [推薦]檢查微型晶片的光學系統(tǒng) [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-16
    成像系統(tǒng)>包括光柵 YU\k D  
    z00,Vr^m  
    任務/系統(tǒng)說明 _s}`ohKvD  
    O0eM*~zI  
    {W=5 J7  
    [n3@*)q's  
    亮點 /E:BEm!  
    VL|Z+3L  
     @E>I<j,D  
    yA';~V\V{>  
     在復雜光學系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） /<"ok;Pu7  
     嚴格分析光柵衍射效率 /Zxq-9   
     考慮入射光的方向分布 Q 87'zf  
    LG??Q+`l  
    說明：光源 B`)bo}h  
    gJ^taUE  
    {vQ:4O!:  
    }L=Qp=4  
    說明：光束分束器 s@ 6Jz\<E  
    F45-M[z  
    20I/En  
    pnXwE-c_