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上海光機所在氧化銦錫薄膜激光退火技術研究中獲進展

發(fā)布:cyqdesign 2020-11-04 11:07 閱讀:1506
近日,中國科學院上海光學精密機械研究所薄膜光學實驗室在1064nm準連續(xù)激光退火氧化銦錫(ITO)薄膜研究中取得新進展,發(fā)現(xiàn)準連續(xù)激光退火誘導ITO薄膜表面形貌的變化和溫升的依賴關系。相關成果發(fā)表在《光學材料快報》(Optical Materials Express)上。 IlC:dA  
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