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[原創(chuàng)]泰伯(TALBOT)光刻機 [復制鏈接]

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離線infocrops

實習生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-11-16

關(guān)鍵詞：光刻機

作為最著名的衍射效應(yīng)之一，泰伯(Talbot)效應(yīng)可以用于光刻技術(shù)中以制造周期性納米結(jié)構(gòu)。繼I.-H. Lee等人，我們在六邊形網(wǎng)格上構(gòu)造了一個圓錐形光柵掩膜版，并以深度方式模擬了Talbot圖像的生成。特別是，由于光刻過程中使用的紫外光是非偏振的，因此我們在示例中演示了如何為VirtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。

附件:

2020-08-24-泰伯(TALBOT)光刻機-訊稷-20200824.rar (1417 K) 下載次數(shù):22

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離線天藍色3230

工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2020-11-16

光刻機？要看看。謝謝。

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離線學本初

實習生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2020-11-26

謝謝分享

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離線raja

技術(shù)員

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 07-15

之前沒怎么了解過泰伯(Talbot)效應(yīng)

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