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    [分享]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴格分析與優(yōu)化 [復制鏈接]

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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-30
    案例190（3.0） #o(c=  
     I6jDRC0<  
    該應用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。 myR}~Cj;q  
     6 4fB$  
    1. 建模任務 H{XD>q.  
     lZt{L0  
    `egyk)"aM  
    2. 建模任務:介質(zhì)參數(shù) ~h:/9q  
    Po~u-5  
    {J?#KHF'|  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) ggy 7p44  
     /5PV|o nO  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)：