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    [分享]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-30
    案例190（3.0） 3)F9:Tzw1  
     4H7 3a5f  
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 QHt;c  
     :$bp4+3>  
    1. 建模任務(wù) .k{omr&Dy5  
     $jt  UQ1  
    a,o>E4#c  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) N30w^W&  
    v&6=(k{E@R  
    'C l}IDF  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) u N%RB$G  
     J{GtH[  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： {K{&__Nk  
     lpW|GFG  
    1. 圓柱的水平間距：250nm T Y|5O! <  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm kmJ {(y)w  
    3. 列距：125nm x^UE4$oo  
     _3q%  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： br!:g]Vh  
     r ]XXN2[jO  
    1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) T5mdC  
    2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) ;