技術(shù)研發(fā)的說明 ODqWXw#
& 5YI!; q, 我們對(duì)熱浸和熱瞬態(tài)測(cè)試數(shù)據(jù)的集成STOP分析結(jié)果可以通過以下三個(gè)表中提供的匯總數(shù)據(jù)的幫助來理解和解釋。表2提供了用于每個(gè)測(cè)試中的熱和冷條件下的熱聚焦控制系統(tǒng)的一些關(guān)鍵參數(shù)。這些數(shù)據(jù)表明，至少對(duì)于1瓦以上的加熱器功率，保持聚焦所需的加熱器功率大致與周圍光具座和L13-16設(shè)定點(diǎn)之間的溫度差成比例。應(yīng)指出的是，L13-16設(shè)定點(diǎn)溫度不同于41℃的設(shè)計(jì)偏差溫度。對(duì)于感興趣的環(huán)境邊界條件溫度值，儀器廠商的控制算法選定的設(shè)定點(diǎn)溫度由作為保持聚焦的最適的值。另外，在透鏡部件13至16中設(shè)定的軸向熱梯度的大小與采用的加熱器功率成正比。 ) wY bcH
F{aM6I Ax+q/nvnb 表2.熱控制系統(tǒng)參數(shù) U5wO ;MA
表3總結(jié)了對(duì)于相同的四個(gè)測(cè)試條件下集成STOP分析給出透鏡組件波前差分布預(yù)測(cè)值的標(biāo)準(zhǔn)41C設(shè)計(jì)殘差值的變化。波前誤差以在0.6328微米波長(zhǎng)的波中的峰-谷（PV）量值給出。 這里我們看到兩個(gè)氟化鈣透鏡元件（13和15）占主導(dǎo)地位，并且來自透鏡13和15的波前誤差增量趨于補(bǔ)償在其他所有加熱器功率。 t[L'}ig!q
76*5/J- Piz PsJ|& 表3.加熱器功率水平下的透鏡部件波前誤差貢獻(xiàn)的變化
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