脈沖寬度為皮秒級的紫外激光，擁有極窄的脈沖寬度，可在短時間內破壞物質的分子鍵，縮短了與物質相互作用的時間，同時具有較強的時間分辨率。為了獲得皮秒級脈沖寬度的短波紫外激光，本文設計了一種皮秒光纖-固體混合放大213 nm激光器。采用重復頻率為5 MHz、脈沖寬度為52 ps、平均功率為2.5 W的1 064 nm光纖激光器作為種子源，經過兩級端面泵浦的Nd：YVO4晶體組成的放大器對種子光進行放大，得到了平均功率為10.5 W的1 064 nm基頻光輸出。再將混合放大后得到的基頻光及其四倍頻后獲得的266 nm激光在BBO晶體內進行和頻，最終輸出213 nm紫外激光。混合放大后獲得的基頻光經過多級非線性轉換，最終輸出脈沖寬度為690 ps、平均功率為61 mW的213 nm紫外激光，非線性轉換效率達到0.58%。
