光學(xué)自由曲面因其豐富的自由度而面臨檢測困境，干涉檢測法具有高精度非接觸式特點，但傳統(tǒng)干涉儀中靜態(tài)補償器難以實現(xiàn)自由曲面加工過程中未知面形不斷變化的原位檢測。因此，可編程控制的大動態(tài)范圍自適應(yīng)補償器成為近年來自由曲面干涉檢測中的研究熱點。結(jié)合課題組在自由曲面自適應(yīng)干涉檢測領(lǐng)域的工作，介紹了光學(xué)自由曲面自適應(yīng)干涉檢測的最新研究進(jìn)展，詳細(xì)分析了基于可變形鏡和空間光調(diào)制器的自適應(yīng)干涉檢測技術(shù)，介紹了針對干涉圖目標(biāo)的自適應(yīng)控制算法，總結(jié)了兩大類自適應(yīng)檢測方法的優(yōu)點以及發(fā)展瓶頸，并對未來自由曲面的自適應(yīng)檢測技術(shù)提出了展望。
