通過從
光學(xué)分析
模型文件中讀取表面處方數(shù)據(jù)并編寫可由光學(xué)分析
軟件讀取的宏文件來與光學(xué)分析軟件接口。SigFit編寫的宏文件將修改名義光學(xué)分析模型,以納入機械干擾的影響。這些干擾可能是表面運動和形狀變化,集成的OPD或
折射率分布。
?>Ngsp>-P Q5b9q$L$ 熱光分析 edo+ o{^ HbRvU}C1 熱光分析涉及預(yù)測由于透射光學(xué)中溫度變化引起的折射率變化而引起的光學(xué)性能變化。如圖1所示,SigFit從熱有限元模型和熱光
材料特性中獲取溫度分布預(yù)測值,并能夠使用兩種方法進行熱光預(yù)測:OPD積分方法和用戶定義的梯度指數(shù)方法。
xnfJruT f`)*bx OPD集成方法 U&ytZ7iB J&iSS9c 熱光分析的第一種方法是通過有限元模型進行積分,以計算沿積分路徑的光程差(OPD)。
pMJm@f 6e8 gFQ"w2 用戶定義的漸變索引方法 :(\JY?+w @QMy!y_K~m SigFit中的第二種熱光分析方法為光學(xué)分析中用戶定義的漸變折射率
鏡片功能生成輸入。在此技術(shù)中,SigFit生成受干擾折射率分布的三維表示,與SigFit隨附的動態(tài)鏈接庫結(jié)合使用,以允許進行光學(xué)分析以獲得每個
透鏡中任何位置的折射率。與OPD集成方法相比,此方法具有更高的準(zhǔn)確性,但計算量卻大得多。
,+5:}hR+ UiVGOQq 應(yīng)力光學(xué)分析 +0?1"2 ez5J+ 類似于熱光分析,應(yīng)力光學(xué)分析可預(yù)測由于透射光學(xué)
器件中的應(yīng)力引起的平均折射率變化而導(dǎo)致的光學(xué)性能。SigFit將有限元分析的應(yīng)力結(jié)果與應(yīng)力光學(xué)特性結(jié)合使用,以通過OPD集成方法計算OPD貼圖。沒有光學(xué)分析軟件將支持用戶定義的代表應(yīng)力-光學(xué)折射率分布的梯度折射率透鏡,因此只有OPD集成方法可用于應(yīng)力-光學(xué)分析。
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} 應(yīng)力誘導(dǎo)的雙折射分析可預(yù)測由于透射光學(xué)器件中的應(yīng)力導(dǎo)致的雙折射反射率變化而導(dǎo)致的光學(xué)性能。
jfiUf1Mj ?;y-skh SigFit將有限元分析的應(yīng)力結(jié)果與應(yīng)力光學(xué)特性結(jié)合使用,以生成代表積分雙折射的BIR和CAO INT文件。BIR和CAO文件是使用Jones演算沿積分路徑生成的。BIR和CAO文件可以導(dǎo)入到代碼V中進行光學(xué)分析。
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