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共聚焦掃描顯微技術(shù)在1950年代由ML Minsky發(fā)明并獲得專利，后來以激光作為光源，現(xiàn)已得到了廣泛的應用。通過使用空間針孔來阻擋離焦平面散射或反射的光， 促進提高縱向分辨率和對比度。 在此示例中，我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了一個共焦掃描顯微鏡，并使用具有變化的脊和槽的金屬光柵作為測試對象來演示其工作原理。 JF *g!sV%
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 tFaE cP Zir`IQ$ 2. 建模任務 7LwS =yP
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共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的，并且探測功率隨目標橫向位移產(chǎn)生的變化？ `#rfp
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 'pY;] ^M C._sgO 3. 聚焦區(qū)域的探測場 Z0eBx
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 9|?Lz !B lk=L+p 4. 來自測試對象的直接反射 wYA/<0'yH
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 5 j,qAay9 ,-3(^d\1F ;q; C ^l 5. 待測目標成的像 `4H9f&8( A+*oT(`
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