像
光柵這樣的
光學(xué)設(shè)備對光的偏振比較敏感。 因此,在
仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)際中,光柵有時會以非偏振光作為輸入。 作為兩個正交偏振態(tài)的平均值,我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此,我們提供了示例來說明
軟件中的相應(yīng)設(shè)置。
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[eO6H2@=z RL~]mI!U 光柵仿真中的非偏振光
&1,{.:@e •光柵分析
XCQPVSh −對于使用傅立葉模態(tài)方法(FMM / RCWA)的單光柵分析,使用平面波入射來計(jì)算
e?
n8S 例如:作為被研究光柵固有特性的
衍射效率。
TM^.y
Y (`FY{]Wz! •非偏振平面波
xmbFJUMH −考慮到沿z方向的平面波,可以將非偏振光視為同一時間可以處于任何偏振態(tài)。
PHQ99&F1 −任意偏振態(tài)可以沿兩個正交基底
投影,并且統(tǒng)計(jì)上,非偏振光沿兩個正交基底給出相等的投影。
Kzf^ras4u −因此,我們可以使用兩個正交狀態(tài)的平均值,并以非相干方式表示非偏振光。
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g"Gj8QLDz v.Zr,Z=eV 光柵仿真中的
光源設(shè)置
`]4bH,%~ •手動控制光源偏振態(tài)
^)0b= (. −在VirtualLab Fusion中,光始終以矢量形式表示,并且可以完全控制光源設(shè)置中的偏振態(tài)。
j<C p&}X −按照基本概念,可以根據(jù)非偏振光的需要,以特定的輸入偏振態(tài)執(zhí)行光柵仿真。 例如,通過選擇TE和TM偏振作為兩個正交基,分別執(zhí)行光柵仿真,然后通過功能區(qū)菜單功能手動平均結(jié)果。
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