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    [分享]高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-04
    1. 摘要 jo-jPYH T  
       )7!q>^S{ B  
    高NA物鏡廣泛用于光刻，顯微等技術(shù)。因此，聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進(jìn)行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡，可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機(jī)探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進(jìn)行靈活全面的研究，進(jìn)而加深對矢量效應(yīng)的理解。 aVkgE>  
    ~Sy/q]4ys*  
    dd1CuOd6(1  
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    2. 建模任務(wù) =v^LShD2^  
    |R[@u=7s  
     !SRElb A;i  
       XTboFrf  
    3. 概述 wJ#fmQXKJ5  
    ^ [FK<9  
    z H$^.1  
     示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 Mj&`Y gW5a  
     下一步，我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。