有誰有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)，歡迎大家討論，同鍋鍍膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/藍(lán)寶石，測試結(jié)果都OK y7{?Ip4[  
設(shè)備試過濺射設(shè)備（新克隆/光馳）/蒸鍍（光馳/新克隆/聯(lián)合真空） h1RSVp+?n  
AF克藥試用很多種類，沒有改善效果。 /1 dT+>  
初步分析是摩擦后打底層脫落，打底材料試過P藥/AL203/SIO2。 \wZe] G%S  
玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI ^OdP4m( >>  
現(xiàn)懷疑是清洗導(dǎo)致表面附著--硅酸鋰和硅酸鈉（希望大家給些清洗建議），驗(yàn)證不清洗比清洗后效果要好。 ("@!>|H  
有沒有誰有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)的，歡迎探討! ;a/E42eN;  
`V1]k_h  

如果是基底問題的話，你蒸鍍前用離子源（AR)使勁轟個十五分鐘。 9?$i?  
這種情況下離子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不會有問題了。 hxx.9x>ow  
6863xOv{T  
而且離子源轟擊還有個好處，可以增加基板表面的粗糙度。

再加一槽清洗劑去除硅酸

感謝回答！ ,hVli/   
以上方案試過了，附著物估計(jì)是微米級別的，離子源沒有辦法清理干凈。

請問一下，使用什么清洗劑？

鍍膜后超洗使用的洗劑PH值很關(guān)鍵，有沒有試過氧化鈦打底。

果是基底問題的話，你蒸鍍前用離子源（AR)使勁轟個十五分鐘。 d0D]Q  
這種情況下離子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不會有問題了。 vN:Ng  
:X=hQ:>P  
而且離子源轟擊還有個好處，可以增加基板表面的粗糙度