Design Tool中,EdgeFilter的功能是可以用來(lái)幫助設(shè)計(jì)邊緣濾波器的結(jié)構(gòu)。一個(gè)簡(jiǎn)單的邊緣濾波器是基于四分之一堆棧的,在基板和入射介質(zhì)旁邊的幾個(gè)匹配層可以用來(lái)抑制通帶波紋。當(dāng)傾斜時(shí),高反射率區(qū)的寬度對(duì)S偏振光有增大的趨勢(shì),對(duì)P偏振光有減小的趨勢(shì),導(dǎo)致偏振分離。四分之一波長(zhǎng)堆棧不容易得到顯著改善,但是Thelen 已經(jīng)表明五層對(duì)稱周期是可以作為邊緣濾波器的基礎(chǔ)的,其中p和s偏振邊緣可以重合。嚴(yán)格來(lái)說(shuō),這只是在一個(gè)入射角,但經(jīng)驗(yàn)表明,在一定角度范圍內(nèi)分裂非常小。邊緣濾波器工具可以找到這樣一個(gè)對(duì)稱的周期,并設(shè)計(jì)一個(gè)非偏振邊緣濾波器。該工具使用迭代技術(shù)來(lái)識(shí)別所有可能的組合,并找到通帶寬度和禁帶寬度的最佳組合,但是后者受到一定限制。 -Wa<}Tz
2fkyz 圖1顯示了參數(shù)對(duì)話框。設(shè)置了兩種材料的五層周期,入射角,入射介質(zhì)和周期數(shù)。該工具沒(méi)有解決紋波問(wèn)題,如圖2所示。在這里,用SiO2當(dāng)最外層最好。最后一步是鎖定所有層,然后對(duì)一些最外層進(jìn)行優(yōu)化以減少波紋。在這種特殊情況下,每側(cè)的12個(gè)層都經(jīng)過(guò)了優(yōu)化,以得到圖3中的性能。 =SmU;t>t/ S8AbLl9G@> 圖1.參數(shù)對(duì)話框,幾乎沒(méi)有必要更改搜索限制或搜索間隔
6rbR0dSgx 圖2.紋波消除前45°入射的原始結(jié)果
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