最近在接觸一家做IBS和IBE設備的日本廠家。他們想調(diào)查一下中國市場有沒有前途。 &$Lm95
我這幾天去了上海慕尼黑光電展，看了一些IBS和IBE的產(chǎn)品，基本上產(chǎn)品的領(lǐng)域很窄。 u\wd<<I']
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那家廠家做的IBS的基本情況是這樣的： J_@4 J7
使用的是美國產(chǎn)的離子源（考夫曼博士自家的產(chǎn)品，基本和VEECO一樣），所以和VEECO一樣有美國輸出限制。 dp70sA!JF
實際大概做了十幾臺，基本上是在日本的一些研究院，臺灣的某個客戶買了幾臺做BPF。 FM)*>ax{
大概能做100mm直徑的工件一枚，工件厚度最大10mm。 2cl~Va=
鍍膜能做200多層，每層大概幾個納米。 n}?G!ySg
因為是離子濺射鍍膜，鍍膜速度非常慢，200層左右大概要鍍5天左右。 Zv\b`Cf }
（高于200層因為應力很大，哪怕10mm的板子也會破裂） Y5CE#&
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產(chǎn)品一般運用在5G通訊，激光，高反射鏡，重力波鏡，EUV鏡上面。 OEW,[d
不知道論壇里面哪位是在這個范圍內(nèi)的，這種設備（鍍膜慢，工件小）是否在國內(nèi)有前途？
