最近在接觸一家做IBS和IBE設(shè)備的日本廠家。他們想調(diào)查一下中國(guó)市場(chǎng)有沒有前途。 XW:%YTv
我這幾天去了上海慕尼黑光電展,看了一些IBS和IBE的產(chǎn)品,基本上產(chǎn)品的領(lǐng)域很窄。 "Rn@yZV
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那家廠家做的IBS的基本情況是這樣的: b1yS1i
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使用的是美國(guó)產(chǎn)的離子源(考夫曼博士自家的產(chǎn)品,基本和VEECO一樣),所以和VEECO一樣有美國(guó)輸出限制。 o0TB>DX$`
實(shí)際大概做了十幾臺(tái),基本上是在日本的一些研究院,臺(tái)灣的某個(gè)客戶買了幾臺(tái)做BPF。 %`lLX/4~
大概能做100mm直徑的工件一枚,工件厚度最大10mm。 .dj}y
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鍍膜能做200多層,每層大概幾個(gè)納米。 MJU*Sq
因?yàn)槭请x子濺射鍍膜,鍍膜速度非常慢,200層左右大概要鍍5天左右。 !{vZvy"
(高于200層因?yàn)閼?yīng)力很大,哪怕10mm的板子也會(huì)破裂) r`e6B!p
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產(chǎn)品一般運(yùn)用在5G通訊,激光,高反射鏡,重力波鏡,EUV鏡上面。 a0's6C
不知道論壇里面哪位是在這個(gè)范圍內(nèi)的,這種設(shè)備(鍍膜慢,工件小)是否在國(guó)內(nèi)有前途?