[求助]投影系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2021-03-20

我自己算指標(biāo)，算出來投影系統(tǒng)的F數(shù)是0.4，但是看別人的F數(shù)最小也是1.2，我想知道這個F數(shù)大概多少合適，該怎么調(diào)整

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2021-03-20

F數(shù)0.4你知道是什么概念嗎，艾里斑半徑是300nm，很大一部分顯微鏡物鏡都沒到這么小的F數(shù)，你算的必然有問題。除非你是要搞光刻

離線koono

只看該作者 2樓發(fā)表于: 2021-10-22

1.7左右已經(jīng)可以達(dá)到2k的分辨率了


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