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離線clgxy123

助理工程師

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2021-03-20

我自己算指標(biāo)，算出來(lái)投影系統(tǒng)的F數(shù)是0.4，但是看別人的F數(shù)最小也是1.2，我想知道這個(gè)F數(shù)大概多少合適，該怎么調(diào)整

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離線沙突兀

助理工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2021-03-20

F數(shù)0.4你知道是什么概念嗎，艾里斑半徑是300nm，很大一部分顯微鏡物鏡都沒(méi)到這么小的F數(shù)，你算的必然有問(wèn)題。除非你是要搞光刻

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離線koono

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2021-10-22

1.7左右已經(jīng)可以達(dá)到2k的分辨率了

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