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    [分享]GLAD:光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-04-29
    概述 [rC-3sGar  
    系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。光源成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚,在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示: hPE#l?H@A  
    17I{_C  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 bIu '^  
     窄條產(chǎn)生寬的旁瓣,僅部分通過中繼入口瞳孔 `Rub"zM  
     寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣,更容易通過中繼入口瞳孔 B.-5$4*s  
     部分通過旁瓣會產(chǎn)生部分解析 Kn SXygT  
    gbL99MZ@~  
    系統(tǒng)描述 (C={/waJ  
    OmQSNU.our  
    本例介紹了如何采用全局衍射分析對部分相干進行建模。如上圖所示,整體裝置是一個科勒照明系統(tǒng),其中有一個聚光元件能夠?qū)⒎窍喔晒庠吹墓膺M入轉(zhuǎn)像透鏡的孔徑中。在一個經(jīng)典的科勒照明系統(tǒng)中,點光源通過一個聚光鏡成像在轉(zhuǎn)像系統(tǒng)的光瞳中。光源照亮物體掩膜面,并在最后的成像面上得到適當?shù)姆糯蟆榱藢馐侠聿蓸樱庠捶旁谖锏墓曹楛c處,這樣在光源面上,點光源將是有一定維度的,而不是像理想點光源那樣,會引起混沌。對一個具有一定尺寸的光源,它所成的像就是部分相干的。如果光源足夠大,大到可以填滿轉(zhuǎn)像透鏡的孔徑的話,所成的像將是非相干的。 A,ttn5Sh?  
    =QHW>v  
    模擬結(jié)果 8  k9(iS  
    kj~)#KDN  
    三柵條圖樣的部分相干成像 yv =LT~  
       [cwc}f^  
    兩組七柵條圖樣建模對比 ,UopGlA ,  
       X aW@CW  
    Q6 @}t&k4C  
    QQ:2987619807
     
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    離線王教主
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2023-03-13
    非常感謝樓主分享
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