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鍍膜傾斜光柵通過VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運行中(Parameter Run)進(jìn)行分析。 W&:[r/8wA xr(|* 關(guān)鍵詞:光柵,鍍膜,傾斜光柵,可編程光柵,參數(shù)運行(Parameter Run) O$`UCq AgF5-tz6x 所需工具:Grating Toolbox Basic OEr:xK2T H]<]^Zmjy 相關(guān)Tutorials:G.001; G.014 *0Gz)' 建模任務(wù) }wSi~^* Y^"4?96 理想平面波照射 #y]3LC#)^G 0JRD puJ#w1!x` :<#`_K~' "fQRk cd;NpN 鍍膜傾斜光柵 目標(biāo)平面 TY;U2.Ud LE?u`i,e=+ 周期:10um 0BkV/v1Uc 厚度:10um N$?cX(|7 傾斜角度:20度 '!vc/Hw j_?cpm{~ml 光柵的參數(shù) zvv:dC/p< Q"a2.9Eo —傾斜角度 1—(光柵)前面的介質(zhì) sc`"P-J+vp —填充因子 2—后面的介質(zhì) ]8
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