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摘要 !N:w?zsp R p
zuSh 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 fm%4ab30T Qc9[/4R>
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'bji2#z[ 光柵詳細說明 muK)Y w[#N
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 I `{=[.c M+=q"#& •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 i+-=I+L3 •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 MmfshnTN qqYQ/4Ajw 光柵階次分析器設置 u
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