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摘要 37hdZt., rB[ J*5v 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 7e"}ojt$ QH'*MY
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HI8mNX3 "j 光柵詳細說明 <[dcIw<7
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 > 80{n8 iWCYK7c@.- •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 26j<>>2 •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 (:l6R9'= FV^jCseZ 光柵階次分析器設置 .QvD603%5 Wiis<^) •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 :kgh~mx5LF •可以指定各種輸出選項。 h P6f •可以在光學設置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 ]1
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