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JCMSuite應用--線型光柵
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發(fā)表于: 2021-05-11
4R 9lA
這是一個一維周期線
光柵
的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下,線型的橫截面具有梯形形狀,它位于襯底上并被背景
材料
包圍。示例中的材質選擇為鉻(線)、
玻璃
(襯底)和空氣(背景)。
,t"?~Hl".
'R'P^
光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計算近場分布。下圖顯示了從襯底一側以193 nm波長垂直入射的
結構
內的近場強度。
<>=A6
S偏振
照明
的近場強度
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