一、電控柜的操作
B)BR
y% ke19(r Ch 1. 開水泵、氣源
W=I~GhM /kV5~i<1S 2. 開總電源
hg-M>|s7 `RyH~4\; 3. 開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。
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p!t_y|SX 'iX y?l 4. 開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
@}ioK=A SedVp cb+ 5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開前機和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源。
V)c.AX5 Qov*xRO6 二、DEF-6B電子槍電源柜的操作
A2''v3-h8 KvumU>c#A 1. 總電源
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